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CIC microGUNE - CMIC cuenta con tres laboratorios - salas limpias -
distribuidos geográficamente y ubicados en las sedes de
CEIT, IKERLAN,
y TEKNIKER, respectivamente, con
la sede oficial sita en el Parque Tecnológico de Miramón.
Procesado de obleas:
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Sistemas de depósito sputtering de películas delgadas metálicas y no metálicas.
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Sistema de depósito LPCVD para películas delgadas aislantes.
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Sistemas de difusión p y n/oxidación térmica/tratamientos térmicos.
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Equipo de alineación/insolación de doble cara.
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Equipo de spineado de fotorresinas.
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Sistemas de ataque seco RIE y DRIE.
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Bancos de ataque húmedo.
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Equipo de porosificación y electropulido
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Electrodepósito de metales. - Nanoimprint lithography
Caracterización, encapsulado e interconexión:
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Microscopio óptico, electrónico de barrido (SEM y STEM).
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Wire bonding.
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Die attach (adhesive, flip-chip, eutectic...).
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Prototipado rápido en plástico FDM (fusion deposition modeling) y por estereolitografía.
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Equipos de test (wire bonding, pegado chips a sustratos).
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Banco caracterización películas delgadas (elipsómetro reflectivómetro, medidor resistencia de hoja, prism coupler).
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Perfilómetros de contacto y confocal.
Replicación y micromontaje:
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